含氟廢氣通常是指含有氣態(tài)HF和SiF₄的廢氣，其主要來(lái)源于冶金工業(yè)的鋁電解和煉鋼過(guò)程，化學(xué)工業(yè)的磷肥生產(chǎn)以及建筑行業(yè)的陶瓷、玻璃、水泥和磚瓦等生產(chǎn)過(guò)程。含氟廢氣的處理方法主要有濕法吸收和干法吸附兩種，根據吸收劑的不同又將吸收凈化法分為水吸收法和堿液吸收法。

　　吸附凈化法是將含氟廢氣通過(guò)裝填固體吸附劑的吸附裝置進(jìn)行吸附從而達到除氟的目的，可以采用工業(yè)氧化鋁、氧化鈣和氫氧化鈣等作為吸附劑。比如凈化鋁電解廠(chǎng)含氟廢氣常采用的吸附劑為工業(yè)氧化鋁，吸附含氟廢氣的氧化鋁可直接進(jìn)入電解鋁的生產(chǎn)過(guò)程中，不存在吸附劑再生的問(wèn)題且凈化效率高達98%以上。

　　含氟廢氣干法吸附法在凈化的過(guò)程中不存在含氟廢水避免了二次污染的產(chǎn)生。和其他凈化方法相比干法吸附凈化基建費用和運行費用都是比較低的，并且可適用于各種各樣的氣候條件，特別是在北方冬季也不存在保溫防凍的問(wèn)題。

　　濕法吸收處理含氟廢氣技術(shù)采用水、堿性溶液或某些鹽類(lèi)溶液來(lái)吸收廢氣中的氟化物從而達到凈化回收的目的。該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是凈化設備體積小、易實(shí)現，凈化工藝過(guò)程可連續操作和回收各種氟化物且凈化效率高、效果好。其缺點(diǎn)是會(huì )造成二次污染且在寒冷地區需要安裝保溫措施。

　　水吸收法是利用HF和SiF₄都極易溶于水的特點(diǎn)，氟化氫溶于水生成氫氟酸，四氟化硅溶于水則成為一定濃度的硅氟酸和硅膠。硅氟酸可與工業(yè)食鹽反應生成副產(chǎn)物氟硅酸鈉，氫氟酸和氟硅酸溶液可以用來(lái)制取冰晶石、氟硅脲以及氟硅酸鈉等產(chǎn)品。

　　堿液吸收法則是采用堿性物質(zhì)（NaOH、Na₂CO₃和氨水等）作為吸收劑來(lái)脫除含氟廢氣中的氟，同時(shí)得到副產(chǎn)品冰晶石。該法適用于排氣量小、廢氣中含氟量低和回收氟有困難的企業(yè)如搪瓷廠(chǎng)、玻璃馬賽克廠(chǎng)以及水泥廠(chǎng)等。